专利显著提升缺陷检测的准确性与自动化程度哥

　　要显示专利摘，涉及半导体规模本申请推行例，陷检测门径、电子修立和产物公然了一种基于全息光谱的缺，中其，学图像中每个像素对应的多个波段下的光谱信号门径囊括：获取基板轮廓的光学图像以及所述光哥瑞利软件申请基于全息光谱的缺陷检测方法，信号构修全息光谱数据立方体并基于所述光学图像与光谱；体获取每个像素的光谱弧线遵照所述全息光谱数据立方；提取光谱特性向量通过所述光谱弧线，向量天生材质分散图并基于所述光谱特性；准样本材质分散图实行比对将所述材质分散图与预设标，常区域识别异。的精准定位与材质占定从而实行对缺陷区域，质料下实行高圆活度的缺陷识别可正在透后yaxin111.net高透光及低比拟度，的切确性与主动化水准明显晋升了缺陷检测。

　　原料显示天眼查，件股份有限公司上海哥瑞利软，007年建树于2，上海市位于，息技能供职业为主的企业是一家以从事软件和信。7.6136万黎民币企业注册血本606yaxin111.net大数据分解通过天眼查，公司共对表投资了5家企业上海哥瑞利软件股份有限，项目91次参加招投标，线条家产，有行政许可9个其余企业还拥。

　　权局音信显示国度学问产yaxin222.net全息光谱的缺陷检测门径、电子修立和产物”的专利上海哥瑞利软件股份有限公司申请一项名为“基于，1453776A公然号CN12专利显著提升缺陷检测的准确性与自动化程度，025年10月申请日期为2。